教授姓名 方 維 倫 最近研發案 ( 成果 )
任職單位 國立清華大學動力機械系 教授
  1. 微型光掃描面鏡
  2. CMOS MEMS 微型線性加速度計
  3. 微型高分子變焦透鏡
  4. 撓性奈米碳管傳感器
  5. 電磁感應局部加熱於晶圓級微機電封裝之應用
學　　歷 美國 Carnegie Mellon Univ. 博士
專　　長 微光機電系統、微加工製程平台與異質整合、CMOS MEMS 感測器、薄膜機械性質檢測

　

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